碳化硅是綠碳化硅微粉的原材料，制造方法同黑色碳化硅，但采用的原材料純度要求較高，也在電阻爐中2200°C左右的高溫下形成，綠色，呈半透明狀，六方晶形，其Sic含量較黑色為高，物理性能與黑色碳化硅相近，但性能略較黑色為脆，也具有較好的導熱性與半導體特性。
超細碳化硅微粉的優點是磨粒鋒利，硬度高，可以磨削硬質合金、光學玻璃、陶瓷、合金等硬脆材料。 而且其導熱性好，適合磨削受熱易變形的工件。但是超細碳化硅微粉也有缺點，就是其脆性較大，所以保持棱角較差，不適合加工韌性較大的工件。
超細碳化硅微粉按形狀可分為平形砂輪、斜邊砂輪、筒形砂輪、杯形砂輪、碟形砂輪等；按結合劑可分為陶瓷砂輪、樹脂砂輪、橡膠砂輪、金屬砂輪等。砂輪的特性參數主要有磨料、粘度、硬度、結合劑、形狀、尺寸等。由于砂輪通常在高速下工作，因而使用前應進行回轉試驗（保證砂輪在高工作轉速下，不會破裂）和靜平衡試驗（防止工作時引起機床振動）。砂輪在工作一段時間后，應進行修整以恢復磨削性能和正確的幾何形狀。
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